序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
4197-244ZLCP10001/57 | 干式真空泵和分子泵(一) | 75+138台 | 设备用途及基本要求: 本设备是对阵列干刻装置、气相沉积装置进行真空排气和辅助排气的装置。 要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY10000/USD1650 |
4197-244ZLCP10001/59 | 干式真空泵(三) | 76台 | 设备用途及基本要求: 本设备是对阵列、彩膜、成盒设备进行真空排气的装置。 要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY5000/USD850 |
4197-244ZLCP10001/63 | 掩膜板用搬送存储系统 | 2套 | 设备用途及基本要求: Mask Stock主要用于Mask、Mask Case的存储(包含翻转机、清洗机、拆包检查机)。 要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY3000/USD500 |
4197-244ZLCP10001/68 | 斜光检查装置 | 15台 | 设备用途及基本要求: 本设备具有通过设备内安装的照明进行目视检查基板整面的功能,目的是各制程单元后及出货前检查Mura等宏观不良,并可快速反馈给前面的制程。 要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY3000/USD500 |
4197-244ZLCP10001/70 | 阵列和彩膜装置用冷却机 | 21台 | 设备用途及基本要求: 冷却机是指经温度调节后的液体,在软管内循环、调节制程腔体和tank的温度达到设定值的装置。 要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY5000/USD850 |
4197-244ZLCP10001/71 | 微电腔高度测量装置 | 1台 | 设备用途及基本要求: 该装置用于Panel制程,利用光学测量系统对贴合后微电腔高度测量,并根据设定标准进行判定,避免不良品产生。 要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY1500/USD250 |
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